PCVD-300等离子体化学气相沉积设备
项目名称:PCVD-300等离子体化学气相沉积设备
成果单位:中国科学院大连化学物理研究所
检索用关键词:PCVD-300 等离子体 化学气相沉积设备
专利状况:3
专利申请号:-
应用行业:D, G
技术领域:9
技术产品用途介绍:成果内容水平:
制备非晶硅太阳能电池,各种非晶硅膜、多晶态膜、钝化膜 、硬化膜 、金属膜及其它金属有机膜。处于国内领先水平。
主要技术指标:
真空度:掺杂室6
成果单位:中国科学院大连化学物理研究所
检索用关键词:PCVD-300 等离子体 化学气相沉积设备
专利状况:3
专利申请号:-
应用行业:D, G
技术领域:9
技术产品用途介绍:成果内容水平:
制备非晶硅太阳能电池,各种非晶硅膜、多晶态膜、钝化膜 、硬化膜 、金属膜及其它金属有机膜。处于国内领先水平。
主要技术指标:
真空度:掺杂室6